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 >제품소개>Power Supply>DC/Pulse |
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| 사용 |
| Genius series는 대기압하에서 플라즈마를 발생시키는 전원장치로 정현파 보다 빠른 Rising-time의 펄스를 공급하여 고밀도 플라즈마를 통해 공정 효율을 향상시켜준다. 또한, 넓은 범위의 주파수 제어가 가능하고, 플라즈마 밀도의 제어가 가능하여 다양한 플라즈마 처리가 가능하도록 해준다.
전극의 형태에 따라 Arc Jet 방식(Genius J-500, J-1000)과 DBD(Dielectric Barrier Discharge) 방식(Genius 2, 6, 10)으로 주로 사용되며 Cleaning, Surface Treatment, PR Ashing, Dry Etching 등에 주로 응용된다. |
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| 정격사항 |
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| Model |
Power |
Specifications |
Type |
Remarks |
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Genius 2  |
2 kW |
10/12/15kV (20~60kHz) , DBD |
Quasi-Pulse |
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| Genius 6 |
6 kW |
10/12/15kV (20~60kHz) , DBD |
Quasi-Pulse |
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| Genius 10 |
10 W |
10/12/15kV (20~60kHz) , DBD |
Quasi-Pulse |
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