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 >제품소개>Power Supply>DC/Pulse |
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| 사용 |
| 이온빔 전원은 Linear ion beam (Closed-drift 또는 Anode-layer ion beam)에 주로 사용되며, 넓은 면적에 균일한 이온빔을 발생시키고 1mJ/ 1kW이하의 아크에너지 특성을 가진다.
응용으로는 세정(Cleaning), 이온보조증착(Ion beam assisted deposition), 그리고 DLC 증착과 같은 직접증착(Direct deposition) 등에 주로 응용되고 있다. |
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| 정격사항 |
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| Model |
Power |
Specifications |
Type |
Remarks |
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