>제품소개>Power Supply>DC/Pulse   사용 공정중 Adhesiveness 와 uniformity를 높이기 위해 표면에너지를 증가시키는 전원장치로서 Etching, Glow Discharge, Bias용도로 주로 사용한다. 출력파형에 따라DC 및 펄스 전원으로 나누어지며, 주로 아크이온플레이팅 공정과 스퍼터링 공정에 적용된다.   정격사항 Model Power Specifications Type Remarks Hercules 10 10 kW 1200V / 33.3A DC   Hercules 20 20 kW 1200V / 50A DC   EnerPulse 5 5 kW 800V / 12.5A (20~150kHz) Pulse   EnerPulse 10 10 kW 800V / 25A (20~150kHz) Pulse   EnerPulse 10MV 10 kW 1000V / 20A (10~50kHz) Pulse   EnerPulse 10HV 10 kW 1400V / 20A (20~100kHz) Pulse   * TBD (To be developed)