PECVD
독일 CCR사 의 RF 플라즈마 소스는 전세계 약 39개국에 판매되고 있고 광학, 솔라, 반도체, 실리콘카본, 산화막,
질화막등의 광학용뿐 아니라 견고한 보호막을 구성하는 PECVD의 적용에도 탁월합니다.
APPLICATION
정밀과학 : 유리나 플리머위에 다층 광학박막
태양광 : AR, Passivation, Absorber 막
디스플레이 : OLED encap 공정, TCO 박막
스토리지 미디어 : TMR barrier, Carbon overcoats
반도체 : Chemical 에칭, 이온밀링
건축유리 : LOW E 코팅
내마모 코팅 : DLC, 산화막, 질화막
패키징 : 롤투롤 Barrier 막
