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 >제품소개>Power Supply>Reactive Gas Control |
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FloTron™은 진공코팅 내부환경 제어 및 Plasma 처리 공정의 실시간 제어를 위해, 빠른 속도 및 정밀한 폐회로 제어 시스템으로 설계되었습니다. Reactive Magnetron Sputtering, Ion & Plasma processing, Reactive Electron Beam (EB) evaporation, Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD), Plasma Etching에 사용됩니다.
FloTron™은 소형크기로 사용하기 편리하고 쉽게 새 진공 시스템 및 기존의 시스템에 통합할 수 있는 경제적인 솔루션 입니다.
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| FloTron™ 시스템은 다음의 네 종류로 구성되어 있습니다 : |
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| FloTron™ |
| 좁은 대역 필터, 아날로그/디지털 전압 센서 입력 및 액츄에이터 출력을 가진 포토 다이오드를 이용한 광학 모니터링 기능이 있는 멀티 채널 프로세스 제어 시스템. |
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| FloTron™ X |
| 좁은 대역 필터, 아날로그/디지털 전압 센서 입력 및 액츄에이터 출력을 가진 CCD 분광계를 이용한 광학 모니터링 기능이 있는 멀티 채널 프로세스 제어 시스템. |
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| FloTron™ H |
| 좁은 대역 필터가 있는 포토 다이오드 및 빠른 CCD 분광계의 두가지 모니터링 기능이 있는 멀티 채널 프로세스 제어 시스템. |
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| FloTron™ I |
FloTron™ 시스템은 다양한 응용 공정의 요구 사항에 맞는 센서 입력식으로 구성할 수 있습니다.
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FloTron™ 시스템은 3,5,9채널의 세가지 사이즈로 구성되어 있습니다. 각 채널은 MFC나 power supply 등의 액츄에이터를
제어 할 수 있습니다.
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| 견고하고 컴팩트한 디자인 |
| FloTron™ 시스템은 견고하고 안정적입니다. 따라서 기술 지원이나 서비스가 거의 필요하지 않습니다. 하드웨어 및 소프트웨어는 실제 산업 환경 및 공정 환경에 맞춰 개발되었습니다. |
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| 산업용 통신 인터페이스 |
| FloTron™ 시스템은 견고하고 안정적입니다. 따라서 기술 지원이나 서비스가 거의 필요하지 않습니다. 하드웨어 및 소프트웨어는 실제 산업 환경 및 공정 환경에 맞춰 개발되었습니다. |
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| 공정설치 자동화 |
| 데이터 자동화 기능을 통하여 신속히 공정 재현 가능합니다. |
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| 공정 지원 |
| 공정 노하우 및 전문적 컨설팅을 통하여 고객의 장비 최적화에 도움을 줄 수 있습니다. |
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| 고정밀 공정 제어 |
| 공정에 필요한 안정성 수준과 프로세스간 재현성을 제공합니다. 특히 Reactive magnetron Sputtering이나, 비 선형성으로 변화 및 표류하는 경향이 있는 다른 공정에서 유용합니다. |
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| 공정 및 플라즈마 모니터링 |
| 플라즈마 기반의 Physical Vapour Deposition (Magnetron Sputtering, Electron Beam 및 Cathodic Arc Evaporation), Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition(PECVD), Plasma Etching, 등 |
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| 생산량 증대 |
| Reactive Magnetron Sputtering에서 박막두께를 2~4배 향상시킬 수 있습니다. |
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| 설비 경제성 향상 |
| 스퍼터 타겟 수명 -> 적은 타겟 교체 주기로 인해, 동일한 타겟 볼륨에서의 더 많은 코팅 생산량이 높은 시스템의 투자 수익률(ROI)을 가져다 줍니다. |
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| 7+ models |
| 7+ 모델은 산업용 공정이나 R&D 응용에 적합합니다. |
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| 다양한 종류의 채널 |
| 3, 5, 9개 채널의 FloTron™ 시스템은 어떤 시스템 크기나 공정의 개수라도 지원합니다. 단 1개의 FloTron™시스템으로도 최대 7개 구역의 reactive 가스 제어를 사용할 수 있습니다. |
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| 경제적인 3개의 영역 처리 |
| 5채널의 FloTron™ 시스템은 대부분의 3개 영역 처리 요구에 완벽하게 부합합니다. |
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| 독자적인 빠른 제어 알고리즘 |
| PID와 PDF가 있습니다. PID 기반 알고리즘은 엔지니어가 99%를 제어할 수 있습니다. 따라서 학습시간이 필요없거나 현저하게 줄일 수 있습니다. PDF 기반 알고리즘은 특별한 성능을 제공합니다. 두가지 모두 쉽게 조정이 됩니다. |
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| 견고하고 안정적인 센서 조립 |
| 표준 광학 플라즈마 모니터링 어셈블리(OA-01), 맞춤형 광학 플라즈마 모니터링 어셈블리. (reactive)가스 p.p. 모니터링(질소, 산소, 수소 등)을 위한 리모트 플라즈마 센서 헤드 (RP-01). RP-01은 FloTron™ 완벽하게 통합되고 견고하게 설계되었습니다. |
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| 선택가능한 광학 모니터의 헤드 디자인 |
| PVD 및 PECVD용으로 설계된 3가지 옵션. |
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| HIPIMS P.E.M. sensor |
| HIPIMS 펄스 주파수의 넓은 범위에 대해 우수한 신호를 제공하는 특별한 지능형 디자인. 불규칙한 간격으로 들어오는 펄스를 수월하게 다룹니다. |
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| 소프트웨어 라이브러리 |
| JAVA 및 .Net DLL 라이브러리를 지원합니다. |
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